产品名称:鹰眼系列3D形貌测试仪

产品型号: HawkEye-1300

产品品牌: ZOLIX

  
随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。
卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和超强的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。
 
卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发,3D形貌测试仪就是常年实践积累的成果(专利号:CN207556477U)。该项技术,具有以下优点:

 
优点/技术/项目线性共焦光谱技术点测技术激光扫描3D相机
速度1000 line/s1000 point/s1000 line/s多角度拍照快
扫描宽度6.5mm/20mm可选
分辨率1um1um30um100um
界面层数多层多层表面表面
建模
数据量



 
主要特点有:
1、非接触性测量;
2、线扫描,高效率;
3、微米级精度;
4、满足透明面及高对比度表面测试;
5、支持二次开发;
 

鹰眼系列3D形貌测试仪主要应用
1、精密部件3D尺寸及段差测试;
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试;
3、3D玻璃缺陷检测;
4、半导体表面缺陷测试;
5、多层薄膜厚度测试;

磁盘探头形貌扫描测试

手机边框段差测试









3D形貌测试仪产品型号及规格

 HawkEye-1300HawkEye-5000
方式共焦光谱共焦光谱
精度1um8um
重复性±0.3um±4um
线扫宽度6.5mm20mm
Z轴量程范围1.3mm5mm
扫描速度300line/s(Max:1000line/s)300line/s(max:1000line/s)
重量5Kg8Kg
尺寸460X300X140mm460X300X140mm

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