产品名称:DVIA-MO系列主动隔振光学平台

产品型号: DVIA-MO

产品品牌: zolix

  
主动隔振光学平台DVIA-MO系列

DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成,台面采用真蜂窝三层夹心式结构,上台面为热形变系数很小的430系列高导磁镍合不锈钢,台面按照25mmX25mm孔距均布M6螺纹孔,方便安装仪器,每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯,方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构,是把0.25毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构,增加了台面结构的密度,减小体积,采用先进的粘合工艺,坚固耐用。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料,具有非常优秀的动态和静态的刚性。
 
主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M,每个支撑里面一般会有4个DVIA-M系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器,主要消除0.5-10Hz的外部振动,被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
 
这个系列的平台可以在低频范围(0.5-10Hz)提供非常卓越隔振性能,它可以应用于很多对振动要求非常高,甚至具有挑战的领域,比如高分辨率的光谱仪,高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

主动隔振光学平台DVIA-MO系列特点
•具有非常优秀的隔振性能,特别是在低频0.5Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率;
•采用惯性传感器,可以检测出六个自由度的振动并做补偿;
•采用真蜂窝三层夹心式结构台面,厚度可选100/200/300mm;
•进口精密主动隔振光学平台;
•隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪 ,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等
 
DVIA-M系列主动隔振器参数表:
型号DVIA-M1000DVIA-M2000DVIA-M3000
尺寸隔振器(mm)215x215x180232x232x180308x308x180
控制器(mm)334x357x120334x357x120334x357x120
最大负载(kg)1500-35001500-35001500-3500
重量(kg)151515
驱动方式电机驱动
隔振自由度6个自由度
隔振效率95%-99%at 10Hz
回复时间<0.5Sec
驱动器推力竖直>20N,水平>40N
输入电压AC 85-264/50-60Hz
功率消耗峰值功率110W,稳定功率50W
空气压力大于0.5Mpa
环境要求温度℃5-50°C
湿度20%-90%
主动隔振频率范围0.5-100Hz
初始水平调整自动调整
系统配置4个隔振器包含控制箱

主动隔振光学平台DVIA-MO系列技术指标:
•固有频率:0.5-100Hz
•自动平衡,相应时间短,平衡速度快
•钢制真蜂窝结构,:0.25mm厚箔
•蜂窝芯尺寸 :3.2cm2 (0.5 in²)
•表面平整度:±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
•上台面 :4mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢
•下地面 4.5厚碳钢,表面氧化处理
•边墙板 2.0mm厚碳钢。包裹高阻尼聚乙烯材料
•孔径: M6 (英制螺孔可选)
•孔距:25mmX25mm(英制孔距可选),最外边孔距平台边缘37.5mm
•螺孔密封:每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封,方便清洁
•阻尼隔振方式:宽带阻尼

主动隔振光学平台DVIA-MO系列选型表详见资料下载
                                                                                                 
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