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ASM组合移动台系列
ASM13-XYZ-2(2A)三维组合平移台
主要技术指标
◆调整维数 :XYZ三维
◆行程 :Tx,Ty,Tz：13mm
组合用产品：
TSM13-2（1A）精密平移台 三个
PHOB-5直角固定块 一个