特种应用光学平台

DVIM系列-T型空气注入式隔振垫震动隔离:气垫隔离 ;固有频率:(垂直/水平)1.5-2.0Hz ;衰减方式:孔式空气阻尼;Roll-off Rate[10Hz]: -32~-35dB ;水平方式:由3个自动调平阀自动调平系统

采用光学实验用的蜂窝芯式(Honeycomb Breadboard)的高刚性上板。;为固定光学仪器或配件的Top Hole(M6, 25㎜间距)固定孔;采用高性能隔振系统(Pneumatic Isolator)的支撑与固定型隔振支撑(Rigid support)形式两种;为提高操作性及作业效率,在气囊内置阻尼孔,提高了衰减功能。

作为半导体FAB用,可在Class 1洁净的室内环境中使用 ;所有材料均用不锈钢制作,可防腐蚀或退色问题。;安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具。

研究室用,在国内首次安装了水平隔振器具,提高了水平/垂直全方位的隔振性能;采用三聚氰胺上板(Top Cover),具有与一般台子一样的美观。