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型号 |
SD15.x.C |
SD30.x.C |
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运动方向 |
X方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
62×40×13.5 |
80×40×13.5 |
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主体材料 |
铝合金 |
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自重（g） |
250 |
350 |
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运动行程（um） |
15（闭环） |
30 （闭环） |
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运动分辨率（nm） |
0.1 |
0.2 |
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运动可重复精度（nm） |
2 |
4 |
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线性误差 |
优于 0.035% |
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摇摆（urad） |
2 |
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俯仰（urad） |
2 |
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共振频率（kHz） |
3.3 |
2.2 |
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共振频率 (300g）（kHz） |
1 |
0.625 |
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刚性（N/um） |
28 |
18 |
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闭环传感器（闭环版本） |
电容式 |
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推荐使用温度 |
-20 ~ 80 °C |
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13810146393
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