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光致发光影像系统--Helios

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产品概述

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光致发光影像系统

Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备
鉴别太阳能电池材料中可能降低效率的隐性伤痕，提高生产效率的同时降低成本。每条生产线每年提升效益170万美元！

应用：
1.进料监控通过少子寿命自动对晶圆定级

2.过程控制监控和优化关键工序，如扩散和镀膜等

3.损伤鉴别检测电池片成品的破损和微小裂痕

特点：

1. 线上监控或线下分析都适用

2. 采用InGaAs探头提升测量灵敏度，减少检测时间

3. 采用高灵敏光学成像技术，每片晶圆测试时间<1s

4. 鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序，降低成本

5.采用简单明了的图形界面和是非判定

6. 相比于其他同类PL系统更具性价比