产品名称:光致发光影像系统--Helios

产品型号: Helios

产品品牌:

  
光致发光影像系统
 
Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备
鉴别太阳能电池材料中可能降低效率的隐性伤痕,提高生产效率的同时降低成本。每条生产线每年提升效益170万美元!


应用:
1.进料监控  通过少子寿命自动对晶圆定级

2.过程控制  监控和优化关键工序,如扩散和镀膜等

3.损伤鉴别  检测电池片成品的破损和微小裂痕
  

特点:

1. 线上监控或线下分析都适用

2. 采用InGaAs探头提升测量灵敏度,减少检测时间

3. 采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s

4. 鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序,降低成本

5.采用简单明了的图形界面和是非判定

6. 相比于其他同类PL系统更具性价比








 

                                                                             

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