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一体式主动隔振平台

一体式隔振系统,占用空间小、高集成度的主动隔振平台

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产品概述

FSD快速整定平台系列主动隔振系统

特点:

• 一体式隔振系统,占用空间小

• 单向最高提供1280N推力

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号

FSD100A

FSD100B

外形尺寸

1000×700×150

1020×875×166

单腿自重

138kg

211kg

主支撑体

钢弹簧

4腿系统承载

重量

1000kg

1000kg

垂向传递率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向电机 峰值推力

640N

1280N

适用领域

先进量检测设备


PAD一体式平台系列主动隔振系统
 
 

PAD一体式平台系列主动隔振系统特点:

• 4个隔振单元组成一体式隔 振系统,便携安装

• 支撑单元多样化,弹簧、 气浮、磁浮可选

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

 

型号

PSQ-BHJI

PSQ-BLFT

PFQ-BTFS

miniPSQ-

BHDD

PSQ-DHLL

外形尺寸

1060×900×200

2020×1370×295

2000×2000×390

400×450×280

定制

自重

121kg

2400kg

5000kg

17kg

130kg*

主支撑体

钢弹簧

钢弹簧

空气弹簧

钢弹簧

钢弹簧

系统承载重量

600-1100kg

1200-2000kg

2000-2500kg

50-110kg

600-1100kg

垂向传递率

≤-12dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@5Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-10dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-40dB@10Hz

适用领域

SEM 、TEM 、ACTEM等各类电镜,桌面式精密仪器等