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ZVI-FV系列

ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台

由空气弹簧，磁负刚度机构支撑、具备大范围隔振带宽的主动隔振平台

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产品资料

产品概述

产品概述

ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台特点

• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构

• 机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 标品负载最大支持4600-6200KG

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

技术指标

• 主动隔振带宽：0.5-150Hz

• 台面稳定性：≤±5um

• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-45dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 系统支持最大功率700W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：1600Kg

ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台命名规则

选型表：（-K、-O参考具体台面信息）

产品型号

整体规格

（L*W：mm）

台面上负载要求（kg）

台面厚度（mm）

隔振器规格

(L*W*H:mm)

单腿重量

ZVI-FV-30-12M

3000×1200

100-1000

350

374×220×200

35kg

ZVI-FV-30-12M-Z（重载）

3000×1200

100-2000

400

360×250×200

35Kg

尺寸图：

型号	尺寸（ mm）
型号	L	W	T	H1	H2
ZVI-FV-30-12M	3000	1200	350	900	550
ZVI-FV-30-12M-Z （重载）	3000	1200	400	900	500