ZVI-VB系列真空主动隔振平台特点
• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构
• 机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构
• 适用1E-4Pa的真空环境
• 6自由度主动隔振
• 主动隔振带宽低至0.5Hz起
• 标品负载最大支持7000KG
• 水平向电机峰值推力高达160N
• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选
• 核心控制系统全部自研
• 核心部件国产化
技术指标
• 主动隔振带宽：0.5-150Hz
• 台面稳定性：≤±5um
• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz
• 水平向电机峰值推力高达270N
• 系统支持最大功率400W
• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）
• 台面厚度：100/200/300mm
• 孔径：可定制孔径
• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
• 标品单腿最大承载能力：1800Kg
命名规则
选型表：（M、K、P参考具体台面信息）
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产品型号 |
整体规格（L*W：mm） |
台面上负载要求（kg） |
台面厚度（mm） |
隔振器规格 (L*W*H:mm) |
单腿重量 |
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ZVI-VB-30-15M |
3000×1500 |
100-2000 |
400 |
1060×900×202 |
40kg |
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型号 |
尺寸（ mm） |
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L |
W |
T |
H1 |
H2 |
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ZVI-VB-30-15M |
3000 |
1500 |
400 |
900 |
500 |
• 光刻机：确保光刻胶的精确涂布和曝光。
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