“16mm 系列”— Linear16-z (闭环控制) 低温 · 压电运动- 线性位移系列
Linear16-z 线性位移台主要特点
• 紧凑设计, 尺⼨ : 16*15.7 mm
• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ⽆磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼兼容 18 Tesla 磁场
• 超⾼负载 & 超⾼推⼒ : 250 g & 3 N
• ⼤⾏程 : 3 mm
• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um
⼆维尺⼨
Linear16-z, Speciication
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可选版本⇨ |
.HV (默认) |
.ULT |
.UHV |
.ULT.UHV |
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.HV ⾼真空版本，默认产品; .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机 .UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar |
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1 三维尺⼨ |
16 × 16 mm × 16 mm |
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2 质量 |
12 g |
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适⽤环境范围 |
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3 基础 |
温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤磁场: 18 Tesla |
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4 可选1 - 30 mK |
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✓ |
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✓ |
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5 可选2 - 2e-11 mbar |
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✓ |
✓ |
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材质 |
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6 主体 |
Pure Ti |
BeCu |
Pure Ti |
BeCu |
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7 线缆 |
磷⻘铜双绞线，20cm |
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8 针脚材质 |
聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu |
Peek, BeCu |
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9 针脚数量 |
驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins |
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运动参数 |
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10 ⾏程 |
3 mm |
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11 最⼤运动速度 @300 K |
~ 2 mm/s |
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12 驱动电压 |
Max. 200 V |
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13 最⼤负载 |
250 g |
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14 最⼤推⼒ |
3 N |
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传感器（闭环） |
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15 位置传感器 |
、 |
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16 传感器⾏程 |
3 mm |
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17 传感器分辨率 |
~ 150 nm |
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18 重复定位精度 |
1 - 2 um |
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13810146393
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