LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台_北京卓立汉光仪器有限公司

产品概述

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台特点：

• 超安静运动，20HZ驱动频率

• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)

• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选

• 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm

• 最小步伐约10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件

命名规则

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台选型表

型号	LS35z.Lab .O / .R	LS65z.Lab.O / .R.
底面尺寸×高度（mm）	35×35×33	65×65×42.5
主体材质	默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版）
自重（g）	102g（.R）200g(.O)		300g(O)
运动行程（mm）	10
最大速度（mm/s）	-10
最小步伐（nm）	~10
重复定位精度
驱动频率	Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（g）	500
全行程俯仰/偏摆	0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°）
位置传感类型	-电阻型传感（ .R ） -光栅尺传感（.O ）
位置传感量程（mm）	10
位置传感分辨率	- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

尺寸图

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台