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SPM600系列

SPM600系列半导体参数分析仪

SPM600 系列半导体参数分析仪是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面,提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描,光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑,实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试,丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源,例如超连续白光激光器,皮秒脉冲激光器,半导体激光器,卤素灯,氙灯等,满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。
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产品概述

SPM600 系列半导体参数分析仪是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面,提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描,光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑,实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试,丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源,例如超连续白光激光器,皮秒脉冲激光器,半导体激光器,卤素灯,氙灯等,满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。

功能:

■ 光谱响应度
■ 单色光/变功率IV;
■ 不同辐照度IT曲线(分辨率200ms)
■ 不同偏压下的IT曲线
■ LBIC,Mapping
■ 线性度测试
■ 响应速率测试
■ 瞬态光电压
■ 瞬态光电流

光源选项

卓立汉光根据样品光谱相应范围选择适合的光源,如EQ 光源,氙灯光源,氙灯溴钨灯复合光源。

EQ光源

特点:

■ 光谱范围宽:190-1700nm宽光谱范围;
■ 光源本身发光点小,百微米级别;
■ 紫外波段亮度高;
■ 寿命长,理论寿命可达9000h;
■ 体积小,重量轻;散热好;
氙灯光源

特点:

■ 光谱范围宽:250-1700nm宽光谱范围;
■ 光源本身发光点较小,mm级别;
■ 总功率大,亮度高;适合紫外-可见-近红外光谱测试;
■ 灯泡更换简单,成本低;
氙灯卤素灯双光源

特点:

■ 光谱范围:250-2500nm
■ 适合紫外、可见、近红外,且可见、近红外波段光谱平滑
■ 灯泡更换简单,成本低。
 数采选项
测试案例