|
1 |
可选版本 |
.HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，完全无磁版本； |
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2 |
外形尺寸 |
Ø70 × 65 mm |
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3 |
主体材料 |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：400 g；,NM 纯钛，陶瓷：600 g |
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4 |
最大垂直负载 |
300 g |
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5 |
运动行程 X，Y，Z |
± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm |
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6 |
运动行程 θX，θY ，θZ * |
± 16 °,± 13 °,± 26 ° |
|
7 |
单向重复精度 X，Y，Z * |
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
|
8 |
单向重复精度θX，θY，θZ |
± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad |
|
9 |
最小步伐 X，Y，Z |
10 nm，10 nm，10 nm |
|
10 |
最小步伐 θX，θY，θZ |
1 μrad，1 μrad，1 μrad |
|
11 |
传感器类型 |
光学位置传感器 |
|
12 |
位置传感器分辨率 |
2 nm |
|
13 |
线缆 & 接头 |
默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
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14 |
控制器规格 |
MC-Free6D |
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1 |
可选版本 |
.HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，完全无磁版本； |
|
2 |
外形尺寸 |
Ø150 × 90 mm |
|
3 |
主体材料 |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：1.4 kg；,NM 纯钛，陶瓷：2.1 kg |
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4 |
最大垂直负载 |
1 kg |
|
5 |
中空孔径 |
Ø40 mm |
|
6 |
运动行程 X，Y，Z * |
± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm |
|
7 |
运动行程 θX，θY ，θZ * |
± 9 °,± 8 °,± 14 ° |
|
8 |
单向重复精度 X，Y，Z |
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
|
9 |
单向重复精度 θX，θY，θZ |
± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad |
|
10 |
最小步伐 X，Y，Z |
10 nm，10 nm，10 nm |
|
11 |
最小步伐 θX，θY，θZ |
1 μrad，1 μrad，1 μrad |
|
12 |
传感器类型 |
光学位置传感器 |
|
13 |
位置传感器分辨率 |
2 nm |
|
14 |
线缆 & 接头 |
默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
|
15 |
控制器规格 |
MC-Free6D |
13810146393
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