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Carrier.L1010.XY

Carrier系列大范围线性运动中空扫描台

·超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中,保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合

 
 
 
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产品概述

⼤范围线性运动 — Carrier.L1010.XY
产品特色

• 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• XY⼀体式组合结构
• 全⾏程运动中,保证通孔
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与⾼精度压电扫描台堆叠组合
 
产品图片&尺寸

产品参数

1

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

250 × 250 × 40 mm

3

主体材料

铝合金 / 不锈钢

4

运动行程

100 × 100 mm

5

速度范围

默认:0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐(闭环)

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm (默认)

13

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:kapton漆包线,PEEK-D-Sub15

14

控制器规格

MC-Newton.S系列

 
 
⼤范围线性运动 — Carrier.L1010s.XY
产品特色
• 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 紧凑设计
• XY⼀体式组合结构
• 断电位置⾃保持
• 全⾏程运动中,保证通孔
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与⾼精度压电扫描台堆叠组合
 
产品图片&尺寸

产品参数

1

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

185 × 185 × 28 mm

3

主体材料

标准版,.HV,.UHV ,.NM  铝合金, 不锈钢/陶瓷:2 kg

4

运动行程

100 x 100 mm

5

速度范围

默认:0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐(闭环)

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

14

控制器规格

MC-Newton.S系列

 

⼤范围线性运动 — Carrier.L7550s.XY
产品特色
• 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 紧凑设计
• XY⼀体式组合结构
• 断电位置⾃保持
• 全⾏程运动中,保证通孔
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与⾼精度压电扫描台堆叠组合
 
产品图片&尺寸

产品参数

1

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

140 × 125 × 28 mm

3

主体材料

标准版,.HV,.UHV,.NM 铝合金/不锈钢:1.5 kg

4

运动行程

75 × 50 mm

5

速度范围

默认:0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐(闭环)

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

14

控制器规格

MC-Newton.S系列