一、物镜Z运动控制 — OB100， OB200， OB400
针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 压电陶瓷堆叠驱动
• 支持多种规格镜头• 可升级自动对焦功能
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产品参数 |
OB100 |
OB200 |
OB400 |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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运动方向 & 行程 (闭环) |
100 µm |
200 µm |
400 µm |
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外形尺寸 |
65 × 50 × 27 mm |
65 × 50 × 39 mm |
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主体材料 |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：220 g； .NM 铝合金，钛合金：200 g |
标准版，.HV， .UHV 铝合金，钢：400 g； .NM 铝合金，钛合金：360 g |
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线性度误差 |
0.03% |
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重复定位精度 |
8 nm |
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运动分辨率（闭环) |
1 nm |
3 nm |
5 nm |
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运动分辨率（开环) |
0.2 nm |
0.4 nm |
0.8 nm |
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刚性 |
0.5 N/μm |
0.35 N/μm |
0.25 N/μm |
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共振频率，0 负载(± 20%) |
600 Hz |
480 Hz |
380 Hz |
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共振频率，150 g 负载(± 20%) |
250 Hz |
220 Hz |
165 Hz |
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最大负载 |
300 g |
500 g |
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位置传感器类型 |
电容式位置传感 |
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线缆 & 接头 |
默认：屏蔽线缆， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽线缆，SMA |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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二、物镜Z运动控制 — OBHL100， OBHL200
高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率
产品特色
• 压电陶瓷堆叠驱动
• 毫秒级响应速度
• 可升级自动对焦功能
• 无摩擦柔顺结构导向
• 亚纳米级位置分辨率
• 可定制更大通光孔径
• 内置电容传感器，闭环控制
• 大负载能力，支持多种规格镜头
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产品参数 |
OBHL100 |
OBHL200 |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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运动方向 & 行程 (闭环) |
100 µm |
200 µm |
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外形尺寸 |
64 × 64 × 54 mm |
78 × 78 × 67 mm |
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主体材料 |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：650 g； .NM 铝合金，钛合金：600 g |
标准版，.HV， .UHV 铝合金，钢：850 g； .NM 铝合金，钛合金：800 g |
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线性误差度 |
0.02% |
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重复定位精度 |
5 nm |
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运动分辨率（闭环) |
1 nm |
1.5 nm |
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运动分辨率（开环) |
0.3 nm |
0.5 nm |
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刚性 |
3 N/μm |
2 N/μm |
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共振频率X，0 负载(± 20%) |
1 kHz |
750 Hz |
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共振频率X，150 g 负载(± 20%) |
560 Hz |
400 Hz |
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最大负载 |
1 kg |
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位置传感器类型 |
电容式位置传感 |
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线缆 & 接头 |
默认：屏蔽线缆， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽线缆，SMA |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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三、物镜XY运动控制 — Carrier.OB200.XY
高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率
• 压电陶瓷堆叠驱动
• 直接位置检测
• 无摩擦柔顺结构导向
• 亚纳米级位置分辨率
• 内置电容传感器，闭环控制
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➡ 产品参数 |
Carrier.OB200.XY |
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可选版本 |
.NM，绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本；.UHV，超⾼真空版本； |
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运动⽅向 |
XY |
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底⾯尺⼨ × ⾼度 |
70 × 70 × 25 mm |
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主体材料 |
铝合⾦ & 不锈钢 |
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运动⾏程 |
200 × 200 μm |
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中通孔径 |
20 mm |
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闭环分辨率 |
2 nm |
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运动可重复精度 |
10 nm |
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线性度 |
0.03% |
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空载共振频率 |
350 Hz |
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最⼤负载 |
500 g |
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传感器类型 |
电容式 |
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驱动电压 |
Max. 150 V |
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推荐使⽤温度 |
15 ~ 40 °C |
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质量 |
280g |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
高分辨率显微系统的综合运动解决方案
样品定位扫描，物镜对焦，光束扫描
产品特色
• 全压电运动系统
• 全闭环解决方案
• 大范围样品运动+微尺度精密扫描
• 亚纳米级位置分辨率
• 低温漂系统
• 可升级自动对焦
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产品参数 |
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系统组合（从上至下） |
OB400 Carrier.SL200.XYZ Carrier.L1010s.XY |
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运动方向 |
XYZ |
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宏动行程 |
100 × 100 mm (XY, Carrier.L1010s.XY) |
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精密扫描行程 |
200 × 200 × 200 μm (XYZ, Carrier.SL200.XYZ) |
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物镜调节范围 |
400 μm (Z, OB400) |
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宏动系统最小步进（闭环） |
10 nm (XY, Carrier.L1010s.XY) |
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精密扫描分辨率（闭环） |
2 nm (XYZ, Carrier.SL200.XYZ) |
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