S系列集成单轴--三轴的紧凑型压电扫描台_北京卓立汉光仪器有限公司

产品概述

产品概述

X轴扫描台 — S100/200/300.X & S500.X

产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• ⻓⾏程运动范围

• 内置电容传感器，闭环控制

• 直接位置检测

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	S100.X	S200.X	S300.X	S500.X
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；	.NM, 绝对无磁版本: .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；
2. 外形尺寸	55 × 55 × 17 mm	55 × 55 × 17 mm	55 × 55 × 17 mm	70 × 70 × 17 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	100 μm	200 μm	300 μm	500 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 220 g；.NM 铝合金，钛合金: 200 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 250 g；.NM 铝合金，钛合金: 230 g
5. 线性误差度	0.02%	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重复定位精度	5 nm	5 nm	5 nm	6 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm	1.5 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm	0.7 nm
9. 刚性	1 N/μm	0.65 N/μm	0.25 N/μm	0.16 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	750 Hz	590 Hz	310 Hz	210 Hz
11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%)	200 Hz	162 Hz	100 Hz	80 Hz
12. 最大负载	500 g	500 g	500 g	500 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感	电容式位置传感	电容式位置传感	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
15. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

Z轴扫描台 — S100/200/300.Z

产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	S100.Z	S200.Z	S300.Z
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 23 mm	55 × 55 × 23 mm	55 × 55 × 23 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 260 g；.NM 铝合金，钛合金: 240 g
5. 线性误差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重复定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 刚性	1 N/μm	0.7 N/μm	0.4 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	550 Hz	540 Hz	430 Hz
11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%)	230 Hz	210 Hz	150 Hz
12. 最大负载	500 g	500 g	500 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感	电容式位置传感	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
15. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XY扫描台 — S100/200/300.XY
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 紧凑的串联多轴结构

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	S100.XY	S200.XY	S300.XY
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 28 mm	55 × 55 × 28 mm	55 × 55 × 28 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 450 g；.NM 铝合金，钛合金: 410 g
5. 线性误差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重复定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 刚性	0.7 N/μm	0.5 N/μm	0.2 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	X: 570 Hz；Y: 530 Hz	X: 480 Hz；Y: 400 Hz	X: 300 Hz；Y: 260 Hz
11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%)	X: 130 Hz；Y: 120 Hz	X: 130 Hz；Y: 115 Hz	X: 85 Hz；Y: 80 Hz
12. 最大负载	500 g	500 g	500 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感	电容式位置传感	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
16. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XY扫描台 — S500.XY
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 紧凑的串联多轴结构

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	S500.XY
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	70 × 70 × 28 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	500 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 500 g；.NM 铝合金，钛合金: 460 g
5. 线性误差度	0.02%
6. 重复定位精度	6 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	1.5 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.7 nm
9. 刚性	0.13 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	X: 190 Hz；Y: 150 Hz
11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%)	X: 68 Hz；Y: 66 Hz
12. 最大负载	500 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
16. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列

XYZ扫描台 — S100/200/300.XYZ
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 紧凑的串联多轴结构

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	S100.XYZ	S200.XYZ	S300.XYZ
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	55 × 55 × 42 mm	55 × 55 × 42 mm	55 × 55 × 42 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	100 μm	200 μm	300 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 650 g；.NM 铝合金，钛合金: 600 g
5. 线性误差度	0.02%	0.02%	0.02%
6. 重复定位精度	5 nm	5 nm	5 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	0.5 nm	0.6 nm	0.9 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.2 nm	0.3 nm	0.5 nm
9. 刚性	0.6 N/μm	0.5 N/μm	0.2 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	X: 490 Hz；Y: 480 Hz；Z: 350 Hz	X: 410 Hz；Y: 380 Hz；Z: 320 Hz	X: 310 Hz；Y: 250 Hz；Z: 230 Hz
11. 共振频率，0.5 kg 负载 (± 20%)	X: 110 Hz；Y: 115 Hz；Z: 170 Hz	X: 100 Hz；Y: 105 Hz；Z: 155 Hz	X: 75 Hz；Y: 80 Hz；Z: 110 Hz
12. 最大负载	500 g	500 g	500 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感	电容式位置传感	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
16. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

XYZ扫描台 — S100.XYZ.P
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 超⼩型并联多轴结构

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	对应参数值
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	40 × 40 × 40 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	100 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 200 g；.NM 铝合金，钛合金: 190 g
5. 线性误差度	0.02%
6. 重复定位精度	6 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	1 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.5 nm
9. 刚性	0.6 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	XYZ: 750 Hz
11. 共振频率，0.2 kg 负载 (± 20%)	XYZ: 230 Hz
12. 最大负载	200 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
15. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列

⾼速单轴扫描运动 — SD15/30.X.C
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 直接位置检测

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• ⾼动态毫秒级响应速度

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	SD15.X	SD30.X
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
2. 外形尺寸	62 × 40 × 13.5 mm	80 × 40 × 13.5 mm
3. 运动方向 & 行程 (闭环)	15 μm	30 μm
4. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 180 g；.NM 铝合金，钛合金: 160 g	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 250 g；.NM 铝合金，钛合金: 220 g
5. 线性误差度	0.03%	0.03%
6. 重复定位精度	2 nm	4 nm
7. 运动分辨率 (闭环)	0.2 nm	0.5 nm
8. 运动分辨率 (开环)	0.1 nm	0.2 nm
9. 刚性	28 N/μm	18 N/μm
10. 共振频率，0 负载 (± 20%)	3.3 KHz	2.2 KHz
11. 共振频率，0.3 kg 负载 (± 20%)	1 KHz	0.625 KHz
12. 最大负载	300 g	300 g
13. 位置传感器类型	电容式位置传感	电容式位置传感
14. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
15. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列	MC-Archimedes.N 系列

三轴扫描运动 — SH30.XYZ.C
产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• ⾼负载能⼒

• ⽆摩擦柔顺结构导向

• 亚纳⽶级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 直接位置检测

产品图片&尺寸

产品参数

产品参数	对应参数值
1. 可选版本	.NM, 绝对无磁版本；.HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本
3. 外形尺寸	160 × 160 × 34.5 mm
4. 运动方向 & 行程 (闭环)	30 × 30 × 15 μm
5. 主体材料	标准版，.HV, .UHV 铝合金，钢: 4.5 kg；.NM 铝合金，钛合金: 4.2 kg
6. 线性误差度	0.03%
7. 重复定位精度	4 nm
8. 运动分辨率 (闭环)	0.3 nm
9. 运动分辨率 (开环)	0.2 nm
10. 刚性	25 N/μm
11. 共振频率，0 负载 (± 20%)	X: 760 Hz；Y: 760 Hz；Z: 830 Hz
12. 共振频率，10 kg 负载 (± 20%)	X: 220 Hz；Y: 220 Hz；Z: 340 Hz
13. 最大负载	10 kg
14. 位置传感器类型	电容式位置传感
15. 线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆，D-Sub 7W2; .UHV: 屏蔽线缆，SMA
16. 控制器规格	MC-Archimedes.N 系列

S系列集成单轴--三轴的紧凑型压电扫描台

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