压电移相器 — Mirrors.Z12
高动态位置姿态定位，光路调节，毫秒级运动响应，高分辨率相位调节解决方案
• 压电陶瓷堆叠驱动
• 纳米级位置分辨率• 无摩擦柔顺结构导向
• 毫秒级响应速度
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产品参数 |
Mirrors.Z12 |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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运动方向 |
Z 方向 |
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底面尺寸 × 高度 |
Φ25 × 31 mm |
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主体材料 |
不锈钢 |
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运动行程（开环） |
15 μm |
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运动行程（闭环） |
12 μm |
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运动分辨率 （闭环） |
0.2 nm |
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线性度 |
0.1% |
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刚度 |
40 N/μm |
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共振频率 （空载） |
4 kHz |
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最大负载 |
200 g |
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传感器类型 |
SGS |
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驱动电压 |
Max. 150 V |
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推荐使用温度 |
15 ~ 40 °C |
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线缆 |
D-Sub 3W3 |
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重量 |
40 g |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
镜片偏摆台 — Mirrors.TxTy0303/1010
大角度 & 高动态偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景
• 压电陶瓷堆叠驱动
• 多行程可选
• 无摩擦柔顺结构导向
• 毫秒级响应速度
• 内置SGS传感器，闭环控制
• 两自由度偏摆运动
| 产品参数 | Mirrors.TxTy.0303 | Mirrors.TxTy.1010 |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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运动方向 |
Tx，Ty |
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底面尺寸 × 高度 |
Φ25 × 45 mm |
Φ25 × 75 mm |
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主体材料 |
不锈钢 |
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运动行程(θXθY闭环） |
±1.5 mrad，±1.5 mrad |
±5 mrad，±5 mrad |
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运动分辨率 （开环） |
0.05 μrad （开环） |
0.2 μrad （开环） |
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运动分辨率 （闭环） |
0.1 μrad （闭环） |
0.5 μrad （闭环） |
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线性度 |
0.1% |
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共振频率 (θX，θY空载） |
2 kHz |
1 kHz |
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摇摆半径 |
6.5 mm |
6.5 mm |
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传感器类型 |
SGS |
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驱动电压 |
Max. 150 V |
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推荐使用温度 |
15 ~ 40 °C |
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线缆 |
D-Sub 3W3 |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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• 压电陶瓷堆叠驱动
• 中心通孔
• 毫秒级响应速度
• 无摩擦柔顺结构导向
• 亚纳米级位置分辨率
• 内置SGS传感器，闭环控制
• 并联结构三自由度调节
| 产品参数 | Mirrors.Z12TxTy0101 |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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运动方向 |
Z，Tx & Ty 方向 |
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底面尺寸 × 高度 |
30 × 30 mm |
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主体材料 |
铝合金 & 不锈钢 |
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运动行程（Z / Tx / Ty 闭环） |
12 μm / 1 mrad / 1mrad |
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运动分辨率 （开环 Z / Tx / Ty） |
0.2 nm / 0.05 μrad / 0.05 μrad |
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运动分辨率 （闭环 Z / Tx / Ty） |
0.4 nm / 0.1 μrad / 0.1 μrad |
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线性度（Z / Tx /Ty） |
0.2% |
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共振频率 （空载） |
5.5 kHz |
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刚性 |
10 N/µm |
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传感器类型 |
SGS |
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驱动电压 |
Max. 150 V |
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推荐使用温度 |
- 20 ~ 80 °C |
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线缆 |
D-Sub 3W3 |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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