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三轴扫描运动 SH30.XYZ.C

·压电陶瓷堆叠驱动 ·高负载能力 ·无摩擦柔顺结构导向 ·内置电容传感器，闭环控制 ·亚纳米级位置分辨率 ·直接位置检测

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产品概述

产品概述

10 kg 超高负载，3自由度 - XYZ线性移动

产品特色

• 压电陶瓷堆叠驱动

• 高负载能力

• 无摩擦柔顺结构导向

• 亚纳米级位置分辨率

• 内置电容传感器，闭环控制

• 直接位置检测

三轴扫描运动 SH30.XYZ.C 尺寸

三轴扫描运动 SH30.XYZ.C 产品选型表

产品参数	SH30.XYZ
可选版本	.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；
外形尺寸	160 × 160 × 34.5 mm
运动方向 & 行程 (闭环)	30 × 30 × 15 μm
主体材料	标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：4.5 kg；.NM 铝合金，钛合金：4.2 kg
线性误差度	0.03%
重复定位精度	4 nm
运动分辨率（闭环)	0.3 nm
运动分辨率（开环)	0.2 nm
刚性	25 N/μm
共振频率， 0 负载(± 20%)	X：760 Hz ；Y：760 Hz ；Z：830 Hz
共振频率， 10 kg 负载(± 20%)	X：220 Hz ；Y：220 Hz ；Z：340 Hz
最大负载	10 kg
位置传感器类型	电容式位置传感
线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽线缆，SMA
控制器规格	MC-Archimedes.N 系列

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