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“Speed系列”高速压电位移台

静音运动 高运动速度 闭环运动控制 纳米级分辨率
 
 
 
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产品概述
“Speed系列”线性位移台——LS50x.Speed
产品特色
• 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
产品图片&尺寸

产品参数

 

1

 

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

50 × 50 × 14 mm

3

主体材料

标准版  铝合金,钢:120 g;.HV/.UHV:钛,钢:150 g;.NM 钛,陶瓷:130 g

4

运动行程

24 mm

5

速度范围

默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

3 N

8

水平方向使用最大负载

2 kg

9

竖直方向使用最大负载

100 g

10

双向重复定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

12

最小步伐(开环)

50 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

2 nm

15

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC-Doppler系列

 
 
“Speed系列”线性位移台——LS65x.Speed
产品特色
• 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
 
产品图片&尺寸
产品参数

 

1

 

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

65 × 65 × 15 mm

3

主体材料

标准版  铝合金,钢:200 g;.HV/.UHV:钛,钢:270 g;.NM 钛,陶瓷:240 g

4

运动行程

30 mm

5

速度范围

默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驱动力

3 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

3 kg

9

竖直方向使用最大负载

150 g

10

双向重复定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

12

最小步伐(开环)

50 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

2 nm

15

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC-Doppler系列

 
 
 
“Speed系列”线性位移台——LS105x.Speed
产品特色
• 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
 
产品图片&尺寸
产品参数

 

1

 

可选版本

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

105 × 105 × 20 mm

3

主体材料

标准版  铝合金,钢:660 g;.HV/.UHV:钛,钢:960 g;.NM 钛,陶瓷:910 g

4

运动行程

60 mm

5

速度范围

默认:5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驱动力

4 N

7

保持力

5 N

8

水平方向使用最大负载

5 kg

10

双向重复定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏摆

0.2 mrad

12

最小步伐(开环)

50 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

2 nm

15

 

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC-Doppler系列

 
 
“Speed系列”旋转位移台 — RS65.Speed
产品特色
• ⾼扭矩
• 空间紧凑
• ⾼转速
• 闭环控制,内置光栅位置传感器
 
产品图片&尺寸
产品参数
1 可选版本 .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本
2 外形尺寸 65 × 65 × 25 mm
3 主体材料 标准版 /.NM 铝合金:330 g;.HV/.UHV 钛合金:360 g
4 运动行程 360°
5 速度范围 默认:60 °/s ~ 720 °/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 60 °/s
6 最大负载 2 kg
7 额定力矩 0.5 N·m
8 最大力矩 0.8 N·m
9 保持力矩 0.8 N·m
10 最小步伐 15 μrad
11 位置传感器类型 光学位置传感器
12 位置传感器分辨率 1 μrad
13 线缆 & 接头 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK)
14 控制器规格 MC–Doppler 系列
 
 
 
“Speed系列”旋转位移台 — RS105.Speed
产品特色
• ⾼扭矩
• ⾼转速
• 闭环控制,内置光栅位置传感器
 
产品图片&尺寸
产品参数
1 可选版本 .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本
2 外形尺寸 105 × 135 × 23 mm
3 主体材料 标准版 /.NM 铝合金:800 g;.HV/.UHV 钛合金:1 kg
4 运动行程 360°
5 速度范围 默认:1.3 °/s ~ 360 °/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 36 °/s
6 最大负载 5 kg
7 额定力矩 0.4 N·m
8 最大力矩 0.6 N·m
9 保持力矩 0.6 N·m
10 最小步伐 0.75 μrad
11 位置传感器类型 光学位置传感器
12 位置传感器分辨率 1 μrad
13 线缆 & 接头 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK)
14 控制器规格 MC–Doppler 系列