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FDU030

“Force系列”执行器

高性能驱动力 高分辨率精密位移 紧凑设计,易于集成.超高分辨率、动力强劲的压电推杆
 
 
 
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产品概述
“Force系列” 执⾏器 — FDU030
产品特色
• ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计,易于集成

产品图片&尺寸
产品参数

 

1

 

可选版本

 

.NM,绝对无磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

58 x 25 x 20 mm

3

主体材料

标准版, .HV,.UHV  钢:100 g;   .NM 钛合金,陶瓷:60 g

4

运动行程

20 mm

5

速度范围

默认:0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s

6

驱动力

30 N

7

保持力

40 N

8

最小步伐(开环)

2 nm

9

开环运动分辨率

0.02 nm

10

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

11

控制器规格

MC-LuZhishen系列

 
“Force系列” 执⾏器 — FDU030.Pro
产品特色
• ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计,易于集成
 
产品图片&尺寸
产品参数
1 可选版本 .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本
2 外形尺寸 58 × 25 × 25 mm
3 主体材料 标准版、.HV、.UHV:钢,130 g;.NM:钛合金,陶瓷,75 g
4 运动行程 15 mm
5 速度范围 默认:0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 mm/s ~ 0.3 mm/s
6 驱动力 30 N
7 保持力 40 N
8 双向重复定位精度 ± 125 nm
9 全程俯仰 / 偏摆 0.3 mrad
10 最小步伐(开环) 2 nm
11 最小步伐(闭环) 5 nm
12 开环分辨率 0.02 nm
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 2 nm
15 线缆 & 接头 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK)
16 控制器规格 MC–LuZhishen 系列
 
 
“Force系列” 执⾏器 — FDU100
产品特色
• ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计,易于集成

产品图片&尺寸
 
 
产品参数
1 可选版本 .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本
2 外形尺寸 110 × 30 × 40 mm
3 主体材料 标准版、.HV、.UHV:钢,200 g;.NM:钛合金,陶瓷,130 g
4 运动行程 70 mm(长度可定制)
5 速度范围 默认:0.1 mm/s ~ 3 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 mm/s ~ 0.9 mm/s
6 驱动力 100 N
7 保持力 120 N
8 最小步伐(开环) 2 nm
9 开环运动分辨率 0.02 nm
10 线缆 & 接头 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK)
11 控制器规格 MC–LuZhishen 系列