
| 1 | 可选版本 | .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
| 2 | 外形尺寸 | 65 × 65 × 20 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV 钢:550 g;.NM 钛合金,陶瓷:300 g |
| 4 | 运动行程 | 30 mm(*长 100 mm 可选) |
| 5 | 速度范围 | 默认:0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 0.3 mm/s |
| 6 | 驱动力 | 30 N |
| 7 | 保持力 | 40 N |
| 8 | 水平方向使用*大负载 | 5 kg |
| 9 | 竖直方向使用*大负载 | 3 kg |
| 10 | 双向重复定位精度 | ± 125 nm |
| 11 | 全程俯仰 / 偏摆 | 0.3 mrad |
| 12 | *小步伐(开环) | 2 nm |
| 13 | *小步伐(闭环) | 5 nm |
| 14 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 15 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
| 16 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK) |
| 17 | 控制器规格 | MC–LuZhishen 系列 |

| 1 | 可选版本 | .NM,绝对无磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本 |
| 2 | 外形尺寸 | 105 × 105 × 30 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV 钢:2 kg;.NM 钛合金,陶瓷:1.2 kg |
| 4 | 运动行程 | 60 mm(*长 200 mm 可选) |
| 5 | 速度范围 | 默认:0.1 mm/s ~ 1 mm/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 0.3 mm/s |
| 6 | 驱动力 | 60 N |
| 7 | 保持力 | 80 N |
| 8 | 水平方向使用*大负载 | 10 kg |
| 9 | 竖直方向使用*大负载 | 6 kg |
| 10 | 双向重复定位精度 | ± 125 nm |
| 11 | 全程俯仰 / 偏摆 | 0.2 mrad |
| 12 | *小步伐(开环) | 2 nm |
| 13 | *小步伐(闭环) | 5 nm |
| 14 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 15 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
| 16 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包线,D–Sub15 (PEEK) |
| 17 | 控制器规格 | MC–LuZhishen 系列 |
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