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X11.mini

“mini系列“小体积线性位移台

超微小结构 ·超安静运动 ·断电位置自保持 ·纳米级分辨率
 
 
 
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产品概述
“mini系列“线性位移台 — X11.mini
产品特色
• 超微⼩结构
• 纳⽶级分辨率
• 超安静运动
• 断电位置⾃保持
 
产品图片&尺寸
产品参数

1

可选版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

11 × 11 × 6.5 mm

3

主体材料

标准版,.HV,.UHV  钢:10 g;.NM:纯钛,陶瓷:10 g

4

运动行程

6 mm

5

速度范围

默认:10 mm/s;.HV & .UHV 版本:1 mm/s

6

驱动力

0.3 N

7

保持力

0.5 N

8

水平方向使用最大负载

50 g

9

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:kapton漆包线,PEEK-D-Sub15

10

控制器规格

MC-Newton.S系列

 
“mini系列“线性位移台 — X20.mini
产品特色
• 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 内置⾼精度光学位置传感器
 
产品图片&尺寸

产品参数

 

1

 

可选版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完全无磁版本;

2

外形尺寸

23.2 × 20 × 12 mm

3

主体材料

标准版,.HV,.UHV  钢:30 g;.NM:纯钛,陶瓷:30 g

4

运动行程

10 mm

5

速度范围

默认:10 mm/s;.HV & .UHV 版本:1 mm/s

6

驱动力

1.5 N

7

保持力

3 N

8

水平方向使用最大负载

300 g

9

竖直方向使用最大负载

100 g

10

最小步伐(闭环)

5 nm

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:kapton漆包线,PEEK-D-Sub15

14

控制器规格

MC-Newton.S系列