标准单轴扫描运动模块，高刚性模组
• 无摩擦柔顺结构导向
• 亚纳米级位置分辨率
• 内置电容传感器，闭环控制
• 高动态毫秒级响应速度
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产品参数 |
SD15.X |
SD30.X |
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可选版本 |
.NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
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外形尺寸 |
62 × 40 × 13.5 mm |
80 × 40 × 13.5 mm |
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运动方向 & 行程 (闭环) |
15 μm |
30 μm |
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主体材料 |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：180 g .NM 铝合金，钛合金：160 g |
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：250 g .NM 铝合金，钛合金：220 g |
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线性误差度 |
0.03% |
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重复定位精度 |
2 nm |
4 nm |
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运动分辨率（闭环) |
0.2 nm |
0.5 nm |
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运动分辨率（开环) |
0.1 nm |
0.2 nm |
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刚性 |
28 N/μm |
18 N/μm |
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共振频率， 0 负载(± 20%) |
3.3 KHz |
2.2 KHz |
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共振频率， 0.3 kg 负载(± 20%) |
1 KHz |
0.625 KHz |
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最大负载 |
300 g |
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位置传感器类型 |
电容式位置传感 |
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线缆 & 接头 |
默认：屏蔽线缆， D-Sub 7W2；.UHV：屏蔽线缆，SMA |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
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13810146393
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