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“Indus系列”长行程线性位移台

超安静运动 ·纳米级分辨率断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格

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产品概述

产品概述

“Indus系列” 线性位移台 — L050.Indus ~ L150.Indus

产品特色

• 超安静运动

• 纳⽶级分辨率

• 断电位置⾃保持

• 多种⾏程规格

• 内置⾼精度光学位置传感器

产品图片

产品参数

序号	产品参数	L050.Indus	L100.Indus	L150.Indus
1	可选版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本
2	外形尺寸	90 × 24 × 14 mm	180 × 24 × 14 mm	250 × 36 × 16.5 mm
3	主体材料	标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷	标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷	标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷
4	质量（标准版）	174 g	388 g	840 g
5	运动行程	50 mm	100 mm	150 mm
6	安装空间	140 × 24 × 14 mm	280 × 24 × 14 mm	400 × 36 × 16.5 mm
7	速度范围	默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
8	驱动力	2 N	2 N	2 N
9	保持力	3 N	3 N	3 N
10	水平方向使用最大负载	1 kg	2 kg	3 kg
11	双向重复定位精度	± 150 nm	± 150 nm	± 150 nm
12	全行程俯仰 / 偏摆	0.2 mrad	0.2 mrad	0.2 mrad
13	最小步伐（闭环）	5 nm	5 nm	5 nm
14	位置传感器类型	光学位置传感器	光学位置传感器	光学位置传感器
15	位置传感器分辨率	2 nm	2 nm	2 nm
16	线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)	默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)	默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)
17	控制器规格	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列

“Indus系列”线性位移台 — LS200.Indus

产品特色

• 超安静运动

• 纳⽶级分辨率

• 断电位置⾃保持

• 多种⾏程规格

• 内置⾼精度光学位置传感器

产品图片

产品参数

序号	产品参数	LS200.Indus	LS200.Indus.E
1	可选版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本	无
2	外形尺寸	82 × 295 × 20 mm	82 × 295 × 20 mm
3	主体材料	标准版、.HV、.UHV 钢，铝合金：1 kg	钢，铝合金：1 kg
4	运动行程	200 mm	200 mm
5	速度范围	默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s-
6	驱动力	3 N	3 N
7	保持力	5 N	5 N
8	水平方向使用最大负载	2 kg	2 kg
9	双向重复定位精度	± 100 nm	± 300 nm
10	全行程俯仰 / 偏摆	0.3 mrad	0.3 mrad
11	最小步伐（闭环）	5 nm	100 nm
12	位置传感器类型	光学位置传感器	光学位置传感器
13	位置传感器分辨率	2 nm	50 nm
14	线缆 & 接头	默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)-
15	控制器规格	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列